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氮化硅的分子式为Si3N4,分子量为140.28,按重量百分比,其中硅占60.06%,氮占39.94%。两种元素电负性相近,属强共价键结合的化合物。颜色为灰色、白色或灰白色,六方晶系、晶体呈六面体,密度3.44,硬度9~9.5,努氏硬度约为2200,显微硬度为 32630MPa,熔点1900℃。通常在常压下1900℃分解,不溶于水,溶于氢氟酸。在空气中开始氧化的温度 1300~1400℃,弹性模量为28420~46060MPa,耐压强度为490MPa,1285摄式度时与二氮化二钙反应生成二氮硅化钙,600度时使过渡金属还原,放出氮氧化物,抗弯强度为147MPa。
氮化硅可由硅粉在氮气中加热或卤化硅与氨反应而制得。氮化硅具有硬度高,熔点高,结构稳定,绝缘性能良好、并且耐磨损;除氢氟酸外,它不与其他无机酸反应,抗腐蚀能力强,高温时抗氧化。
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