安阳市恒安冶金耐材有限责任公司
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氮化硅陶瓷的烧成可采用硅粉预先成型,然后在通氮的情况下烧结而成(反应烧结法),是使氮化硅的形成和烧结同时完成;或采用硅粉氮化反应合成浙江氮化硅粉后热压而成 (烧结法)。氮化硅膜是由氯化硅-氨-氢等体系在一定温度下用气相沉积法形成,或采用射频溅射法形成。
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